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石英坩堝生產(chǎn)工藝技術(shù)及應(yīng)用

寫作時(shí)間:2014-07-29 瀏覽次數(shù):
一種真空加涂層生產(chǎn)電弧石英坩堝的工藝,設(shè)備,及其產(chǎn)品_查詢_下載_檢索: 本發(fā)明涉及坩堝制造領(lǐng)域,是一種真空加涂層生產(chǎn)電弧石英坩堝的工藝,設(shè)備,及其產(chǎn)品。解決了現(xiàn)有技術(shù)坩堝制造工藝無法解決石英坩堝長時(shí)間,高溫度,高純度的使用要求問題

一種真空加涂層生產(chǎn)電弧石英坩堝的工藝,設(shè)備,及其產(chǎn)品_查詢_下載_檢索:本發(fā)明涉及坩堝制造領(lǐng)域,是一種真空加涂層生產(chǎn)電弧石英坩堝的工藝,設(shè)備,及其產(chǎn)品。解決了現(xiàn)有技術(shù)坩堝制造工藝無法解決石英坩堝長時(shí)間,高溫度,高純度的使用要求問題,且存在無法在真空狀態(tài)下噴涂均勻形成均勻的高純石英層,無法準(zhǔn)確及時(shí)分層噴涂等問題,提供一種真空加涂層生產(chǎn)電弧石英坩堝的工藝及設(shè)備:將石英砂倒入真空模具內(nèi)刮出預(yù)制的形狀,進(jìn)入熔制室,開啟真空泵,控制溫度在開始熔制,預(yù)熱,通過控制雙斗加料機(jī)的兩個(gè)料斗,先將把高純的石英砂涂料噴涂到正在融化的石英坩堝內(nèi),然后噴涂混合噴涂料,保持溫度時(shí)關(guān)閉真空泵。通過本發(fā)藝和設(shè)備生產(chǎn)的石英坩堝在高溫下、長時(shí)間的抗變形能力強(qiáng),耐損耗性強(qiáng),可以長時(shí)間使用。

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石英坩堝的生產(chǎn)工藝及應(yīng)用條件_銀湖耐材:石英坩堝分透明和不透明兩種,是拉制大直徑單晶硅,發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。當(dāng)今,世界半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)達(dá)國家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。現(xiàn)在大多數(shù)廠家使用的生產(chǎn)工藝是在普通石英砂溶制的坩堝表面涂上一層二氧化鋇溶液使其形成致密層,其致密層能阻止單晶硅高溫拉制過程中硅與石英坩堝反應(yīng)提高成晶率。工藝流程是:

高純石英砂→高純石墨模具→真空裝料成型→真空電弧熔制→自然冷卻脫模→石英坩堝初步檢測→冷加工噴砂、切斷、倒角→石英坩堝二次檢測→超凈清洗、超聲、高壓噴淋、自動(dòng)烘干。加溫烘烤,噴涂→石英坩堝三次檢驗(yàn)→真空包裝→成品入庫

有的國內(nèi)石英坩堝生產(chǎn)企業(yè)生產(chǎn)中使用的生產(chǎn)設(shè)備及工藝技術(shù)全部源于上世紀(jì)70年代初錦州155廠從引進(jìn)的生產(chǎn)設(shè)備及工藝技術(shù),該項(xiàng)技術(shù)設(shè)備自動(dòng)化程度不高,整。

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石英坩鍋生產(chǎn)企業(yè)生產(chǎn)技術(shù)工藝應(yīng)用調(diào)查:報(bào)告名稱中國石英坩鍋市場調(diào)查報(bào)告(專項(xiàng))(2014版)報(bào)告類型多用戶,行業(yè)/市場分析報(bào)告發(fā)布機(jī)構(gòu)中經(jīng)國際咨詢聯(lián) 系 人田小姐 姜小姐咨詢電話 63260953售后服務(wù)一年,目錄范圍之內(nèi),免費(fèi)提供內(nèi)容補(bǔ)充,數(shù)據(jù)更新等服務(wù)交付時(shí)間3-5工作日,特殊要求,另行約定報(bào)告定價(jià)¥6500.00(電子)¥6800.00(電子+印刷)工作時(shí)間周一周日,8:30-23:30第四節(jié) 新項(xiàng)目投資推薦區(qū)域(或省市)(CMRN 中經(jīng)縱橫建議)

第七章 石英坩鍋產(chǎn)品市場競爭深度調(diào)研節(jié) 企業(yè)市場結(jié)構(gòu)分析一、市場集中度分析 1、行業(yè)集中率(CRn) 2、赫爾芬達(dá)爾—赫希曼指數(shù)(HHI) 報(bào)告名稱中國石英坩鍋市場供需現(xiàn)狀調(diào)查報(bào)告報(bào)告類型。

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