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化學機械研磨工藝中的銅腐蝕研究_圖文_
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李福洪,賈麗麗-CN-2009[####]一種銅化學機械研磨的方法,用于平坦化半導體基底上的銅金屬層,包括,執行階段的研磨去除半導體基底上的銅金屬層;執行階段的研磨,移除所述銅金屬層下的阻擋層;該第...[/####] 【】一種提高銅機械研磨效率的裝置_
白英英,張守龍,徐友峰-2013[####]本發明一種提高銅機械研磨效率的裝置,其中,包括以下工藝步驟:形成層介電層,在層介電層上表面沉積刻蝕阻擋層,在刻蝕阻擋層上沉積層介電層;在層介電層上生...[/####] 內徑研磨機價格_廠家直銷價格優惠-昆山詹允精密機械
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